彩色滤光片中拼接曝光方法技术资料下载

技术编号:2716858

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本发明是 彩色滤光片中拼接曝光的方法,包括;1)拼接曝光要在彩色滤光片的第一道制程BM制程制作对位mark及拼接mark,需要在拼接的区域为两侧曝光的公共区域,即此拼接区域会被两侧两次重复曝光;2)拼接曝光在RGB的制程须依据BM制程的对位mark实施曝光,需要确认其拼接mark的套合精度;3)拼接曝光在PS制程中可依据BM制程的对位mark实施正常曝光。优点1)容易在2sho拼接的地方造成拼接MURA且要求shot间拼接精度高,能精准对接而不造成错位或断...
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