技术编号：2717050
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了，控制系统包括连接气源的气动三联件、电气伺服方向流量阀、电气比例节流器、由伺服气缸和液压缸串联而成的气液阻尼缸、支撑工作台的静压气浮导轨、位于工作台上方的CCD图像传感器、光刻机控制器，气动三联件通过两个管道分别连接至电气伺服方向流量阀和静压气浮导轨，电气伺服方向流量阀连接至伺服气缸，电气比例节流器连接至液压缸，液压缸的推杆连接至工作台，光刻机控制器连接电气伺服方向流量阀、电气比例节流器和CCD图像传感器。本发明的光刻机电气伺服对位控制系统及控...
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