一种具有良好侧边形貌的光敏性树脂组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:2717121

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种光敏性树脂组合物,经曝光、显影后所形成的干膜图像具有良好的侧边形貌和较高的分辨率。作为主要组分的可进行光聚合树脂具有下列结构通式(A)u(B)v(C)w(D)x(E)y(F)z,其中,A为甲基丙烯酸,B为丙烯酸,C为甲基丙烯酸甲酯,D为丙烯酸月桂酯,E为碳链数为3-8的(甲基)丙烯酸酯,F为苯氧基乙基丙烯酸酯;本发明提供的感光树脂组合物,其在印刷电路板、引线框架、半导体封装、金属的精密加工等领域中,作为抗蚀阻剂材料,有很好的光敏性、分辨率以...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 孙老师:1.机机器人技术 2.机器视觉 3.网络控制系统
  • 杨老师:物理电子学