技术编号：2717156
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种蓝宝石玻璃材质的微透镜阵列制备方法，包括以下步骤1)制作目标结构掩模板；2)在清洗干净的蓝宝石玻璃基板上涂覆一层光刻胶；3)通过光刻把目标结构掩模板图形转印到蓝宝石玻璃基板上；4)对蓝宝石玻璃基板进行加热，得到光刻胶微透镜阵列模版；5)采用离子束刻蚀机对制作好光刻胶微透镜阵列的蓝宝石玻璃基板进行刻蚀；6)完全去除蓝宝石玻璃基板上的光刻胶，得到由蓝宝石玻璃作为结构层和基底的微透镜阵列。本发明制作的微透镜阵列具有耐高温、导热好、硬度高、透红外、稳...
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