一种实现自由照明光瞳的微反射镜阵列控制方法技术资料下载

技术编号:2717157

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本发明提供,首先限制各微反射镜单元偏转角度初始值在一定的范围内,使得目标面上反射光斑靠近目标光强分布区域;将目标面实际光强分布与拟产生目标光强分布差值作为评价函数,将其按每点像素值大小分组;保持像素值满足收敛条件的点所对应微反射镜单元的偏转角度不变;对像素值不满足收敛条件的点,计算其所对应微反射镜单元的偏转角度的优化值,并更新评价函数,进一步筛选像素值不满足收敛条件的点,对优化值重新进行更新,直到收敛。采用本发明可快速,有效的返回微反射镜阵列驱动电压值,可...
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