技术编号：2717208
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种涂胶设备及涂胶方法，所述喷涂设备用于对基板进行涂胶，所述涂胶设备包括能够相对于所述基板移动的喷涂组件，所述喷涂组件包括多个相互独立的喷涂单元，所述喷涂单元具有朝向所述基板的出口，当所述喷涂组件相对于所述基板移动时，多个所述喷涂单元的出口能够扫描覆盖所述基板的待涂胶区域。本发明将整体的狭缝喷头改变为两排平行且前后互补的多个喷涂单元同时协作进行涂胶，可以更好地控制光刻胶的局部厚度和均匀性。并且，对于不同尺寸的基板只需增加或减少相应地喷涂单元的数...
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