技术编号：2717731
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种采用电印刷技术制备聚合物PMMA光波导器件的方法，属于聚合物平面光波导器件制备。其是在PMMA基片上蒸发铝膜，然后通过旋涂、光刻、湿法刻蚀等半导体工艺制备出几微米到几十微米不同宽度的集成电极布线，进而制备出电印刷模板，然后通过电印刷模板加热聚合物薄膜，使聚合物材料的折射率发生变化，进而制备出集成光路器件。本发明的器件及其制作方法，器件成本低，成品率高，工艺简单，制备速度快，适合大批量生产。专利说明一种采用电印刷技术制备聚合物PMMA光波导器件的方法 ...
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