一种水冷式双压电变形镜的制作方法技术资料下载

技术编号:2717835

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本实用新型公开了一种水冷式双压电变形镜,包括水冷式双压电变形镜主体和水冷式双压电变形镜镜架,所述的水冷式双压电变形镜主体设置于水冷式双压电变形镜镜架内,水冷式双压电变形镜包括反射镜一、反射镜二、压电晶片一、压电晶片二、电极引线、变形镜支撑件、微通道一;水冷式双压电变形镜镜架包括前盖板、后盖板和微通道二,镜架前盖板上设置的微通道二与反射镜二上的微通道一一对应,通水后,通过流水带走反射镜一外表面上的热量,即可实现变形镜的水冷功能;通过采用主动冷却控制技术,实现...
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