一种光纤在线表面等离子体艾里光束发生器的制造方法技术资料下载

技术编号:2718587

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本实用新型属于光学,特别涉及用于光学微捕获中的一种光纤在线表面等离子体艾里光束发生器。一种光纤在线表面等离子体艾里光束发生器,器件由光纤端面镀金属膜,在金属膜表面刻写单缝和阵列微槽结构构成,金属膜膜厚100-300纳米,单缝位于纤芯的中心轴线上,单缝的深度与金属膜厚相同,单缝的宽度50-200纳米;阵列微槽结构的深度20-90纳米,宽度100-400纳米。该艾里多光束发生器体积小,集成度高,易于实现全光纤集成,可以与现有光纤技术进行互联,在微光学粒子操纵中...
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