技术编号：2718798
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种滚对平面光刻压印中紫外灯光源结构，包括紫外灯光源和能够控制光源光照强度变化的控制电路，紫外灯光源包括抛物面型灯罩、紫外灯管和凸透镜柱，紫外灯管安装在所述灯罩的抛物线焦点上，凸透镜柱安装在抛物面的开口处，凸透镜柱的一个焦点在滚对平面式光刻压印的加工区域上，也就是凸透镜柱的焦点位于滚筒模具表面和衬底的切线上；紫外灯光源与滚筒模具的芯轴之间，保持位置不变；控制电路包括固定安装于滚筒模具一侧端面芯轴上的感应线圈探头，且滚筒模具端面上均匀且磁极极...
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