技术编号：2718873
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种清洁设备，包括一箱体；设置于所述箱体内，位置可移动的清洁装置；设置于所述箱体内用于承载待清洁掩膜板的承载装置；检测装置，用于对所述待清洁掩膜板的所有检测点进行检测，获取一检测结果；控制器，用于根据所述检测结果控制所述清洁装置对所述待清洁掩膜板上存在的灰尘进行定点清除。本实用新型的有益效果是检测装置发现灰尘的具体位置、通过可移动的清洁装置定点清除灰尘，以在曝光工艺中提高产品的良率。专利说明一种清洁设备[0001]本实用新型涉及液晶产品制作，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。