一种半自动双面曝光装置制造方法技术资料下载

技术编号:2719605

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本实用新型公开了一种半自动双面曝光装置,它包括监控装置、曝光箱(2)和装载箱(3),上层装载框架(1)和下层装载框架(19)均包括上框架(17)和下框架(18),下框架(18)内部设置有抽真空通道、抽真空气孔(11)和抽真空接头(12),监控装置包括光电传感器A、光电传感器B、计时器、蜂鸣器、真空泵、气压传感器和控制器。本实用新型的有益效果是提高了曝光效率,方便装载,上层装载框架和下层装载框架交替进行曝光,同样提高了效率;确保真空气压数值,从而保证曝光质量...
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