一种楔型表面等离子体波导的制作方法技术资料下载

技术编号:2719632

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本实用新型为一种楔型表面等离子体波导,包括低损耗金属材料制作的金属基底和其上的横截面为三角形的金属楔,金属楔的尖端附着介质层。介质层外部为真空包围。金属楔横截面的三角形的三个角均为锐角。介质层为二氧化硅或硅或氟化镁。介质层附着于金属楔两侧面、外表面为平面,由上至下逐渐减薄。等同条件的本实用新型与单楔型表面等离子体波导相比,有效提高了表面等离子体波的传播距离和有效模场面积之间的比值,最终品质因数提高了一个数量级;实现表面等离子体波导导光功能的同时,有效地减少...
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