技术编号：2721350
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种硅片显影定影装置，它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置，所述吹气泵的进气端与气体罐连通，其出气端与所述气体分流装置连通，在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀；所述吸气泵的进气端与槽体连通，其出气端与所述气体罐连通；所述气体分流装置设置在槽体底部。本实用新型通过在槽体内设置气体分流装置，在显影定影液中通入气体，利用气泡的冲击力对硅片进行清洗，同时，气体可回收利用，不仅不会对环境造成污染，而且使用成本低。专利说...
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