带防基板翘起机构的基板加热装置制造方法技术资料下载

技术编号:2722204

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一种带防基板翘起机构的基板加热装置,在光取向处理中的紫外线照射后的后加热工序,在短时间使基板上升到规定温度且在基板整体范围均匀上升、维持取向限制力。对涂布有取向膜的母TFT基板(30)或母对置基板(30)(以后记作基板)照射直线偏光紫外线,对取向膜赋予单轴性。其后,在热板(20)上载置该基板(30),利用按压销(10)将基板(30)的周边压靠于热板(20)上。由此,能够防止加热时的基板(30)的翘起,能够在基板(30)整体均匀地以30秒左右使温度从26℃上...
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