技术编号：2722528
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及大面积无掩膜板快速曝光的装置，沿光路依次设置光源、准直镜、全反射镜和空间光调制器DMD，空间光调制器DMD的光路输出端布置有全反镜，全反镜的光路输出端衔接有双远心高速扫描系统，双远心高速扫描系统的光路输出端正对于载物平台；空间光调制器DMD、双远心高速扫描系统、载物平台与运动控制系统控制连接。采用数字式空间光调制器件DMD单元，能够灵活的得到需要曝光的图形；使用双远心扫描场镜，将DMD的图形通过场镜以快速扫描的形式曝光到感光基材上；同时平台配...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。