技术编号：2723794
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种实现上述超薄型滤光片生产工艺，且能有效提高镀膜均匀度的超薄型滤光片镀膜装置，其包括镀膜腔，所述镀膜腔内设有蒸镀源，所述蒸镀源上设有一外套筒，所述外套筒套设在所述蒸镀源上，所述外套筒的顶部设有一个一端开口的插槽，所述插槽内设有一可抽拉的弹性膜支架。使用该镀膜装置的生产工艺使用水洗膜代替透光基片，镀膜时会在水洗膜上形成镀膜层，镀膜完成后通过拉伸弹性膜使镀膜层分隔成规定尺寸的小块，最后在采用水洗的方式使镀膜层与水洗膜分离开来，这样就会形成无基...
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