技术编号：2724240
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种光技术基础器件。随着信息技术和通讯技术的迅速发展，光波导作为光集成技术的基础器件，在远距离通讯与光纤的耦合方面的作用显得越来越重要。因为作为好的产品特性，其光波导的损失应控制在可以接受的水平，另外，此光波导的构造技术必须与标准的硅平面集成工艺技术相兼容，从而简化工艺，降低成本。目前已经报导的光波导结构有掺杂型的光波导，SOI光波导，SiGe光波导。但是掺杂型的光波导的缺点是其传播损耗较大，SOI光波导不能和单模光纤很好的偶合，而SiGe光波...
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