技术编号：2724694
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种硅微机械谐振传感器，特别是涉及一种基于反馈光注入半导体激光器的硅微机械自谐振传感装置。背景技术由于采用光激励、光检测工作方式的全光型硅微机械谐振传感器兼有光纤、微结构、谐振传感器的优点，实现了多种先进技术的优势互补，因而成为国内外智能传感器研究的热点。全光型硅微机械谐振传感技术最有前途、最具吸引力的发展方向为自谐振工作方式，而目前采用该工作方式的全光型硅微机械谐振传感器存在的诸如Fabry-Perot(F-P)干涉腔的加工精度要求太高、激振...
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