技术编号：2724904
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于电子束曝光的方法，并且特别涉及一种对电子束确立照射位置的定位方法，该电子束用于在具有多层互连结构的半导体器件中形成互连，以及涉及一种用于制造采用这种结构的半导体器件的方法。随着半导体器件密度的增加，已经采用具有多个分层半导体层的多层半导体器件，要解决的技术问题包括如下问题例如如何使互连或电极的每一层与互连或电极的另一层相互连接，以及如何形成互连层或电极，使得它们不干扰互连或电极的其它层。特别地，在具有多层的半导体器件中，在一个新的互连或电...
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