干蚀刻方法、微细结构形成方法、模板及模板的制造方法技术资料下载

技术编号:2725441

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本发明涉及一种对含钨(W)和碳(C)的物质进行微细加工的技术和以含钨(W)和碳(C)的物质为构成要素的模板及其形成方法。进一步涉及一种适合用以钨和碳为主要成份的硬质合金作为形成材料来制造具有微细图案的成形模板的方法。背景技术 近年来,伴随着因特网的普及,作为高速通信设施,光通信系统的必要性越来越高。要想将该高速通信系统引入到一般家庭并进一步进行普及,需要的就是能够实现构成光通信系统的光电路部件的低价格化的技术。一般情况下,为光电路部件的主要构成要素的光波...
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