灰阶掩模用坯料、以及采用该坯料的灰阶掩模以及该坯料的制造方法技术资料下载

技术编号:2725498

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本发明涉及在液晶彩色显示器装置的制造中所用的。背景技术 近年,在薄膜晶体管液晶显示装置(TFT-LCD)的制造中,进行了谋求降低成本的技术的开发。在滤色器制造工序中,不使用高成本的光刻工序,而是提出尝试通过低成本的喷墨方式进行制作,在TFT基板制造工序中使用灰阶掩模,消减了在TFT通道部的形成工序和离子注入工序等中所用的掩模数,减少光刻工序的方案(参照专利文献1)。称作灰阶掩模的光掩模,与通常的光掩模不同,由灰阶掩模1枚得到两种类以上的曝光量,用1枚的灰阶...
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