机电动态力分布接合机制的制作方法技术资料下载

技术编号:2726317

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本发明一般涉及MEMS设备领域,尤其涉及基于MEMS的平板显示器领域, 其中控制动态变形膜的形状和行为的能力确保所考虑的MEMS设备的更期望的行 为。背景信息包括利用受抑全内反射(FTIR)原理引起系统光发射的平板显示器的基于 MEMS的系统,必须满足关键的物理标准才能正确发挥功能。作为更大类基于FTIR 的MEMS设备的代表,美国专利No. 5,319,491 (通过引用整体结合于此)中公开 的显示系统示出在这种设备中起作用的基本原理。这一设备能够选择性...
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