技术编号：2726451
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的领域涉及微机电系统(microelectromechanical system, MEMS)。更明确地 说，本发明的领域涉及干涉式调制器及其电互连的制造方法。技术背景微机电系统(MEMS)包含微机械元件、激活器和电子元件。可使用沉积、蚀刻和 /或其它去除衬底和/或已沉积材料层的部分或者添加层以形成电装置和机电装置的微加 工工艺来产生微机械元件。 一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如本文所使用， 术语干涉式调制器或干涉式光调制器指的是一种使用光...
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