带金属配线的基板的制造方法技术资料下载

技术编号:2726461

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本发明涉及在液晶显示器(LCD)、有机电致发光(有机EL)显示 器、等离子体显示面板(PDP)等平板显示器的制作中有用的带金属配 线的基板的制造方法。更详细地说,本发明涉及使用正型感光性树脂组 合物得到具有倒梯形抗蚀图案(1/"7卜^夕一/)的基板,并用该基板通 过举离法(y7卜才7法)制造上述带金属配线的基板的方法。背景技术通过举离法在基板上形成金属配线时,通常使用截面能够形成倒梯 形抗蚀图案的抗蚀材料。例如,通过举离法形成导体图案时,通过如下的一系列工...
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