技术编号：2726716
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及扫描仪系统，尤其涉及MEMS扫描仪系统和方法。背景技术显微机械加工的机电系统(MEMS)扫描4义采用MEMS镜来偏转 入射在这种MEMS镜上的激光束。这种MEMS镜响应于控制信号而 在一个或两个轴上枢转，这样就按照要求将这种入射激光束偏转。可 将所反射的激光束投射在屏幕上、光传感器上或投射到观察人员的眼 睛中。MEMS扫描仪的使用的实例包括加热显示器、手持投射器件、 基于激光的投射器件和柔性光刻等。MEMS扫描仪可包括处理入射激 光束和反射...
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