技术编号：27275102
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种基于lcos芯片的曝光装置技术领域.本实用新型涉及曝光技术，特别是涉及一种基于lcos芯片的曝光装置。背景技术.曝光机是d打印、电路板光刻常用的关键部件之一，曝光机的分辨率是曝光机的重要性能参数之一，为提升曝光机的分辨率，专利申请.公开了一种基于lcos技术的曝光机，该曝光机采用lcos芯片替代了常规曝光机中所采用的dmd芯片，为提升像素分辨率提供了新思路。但是，由于lcos属于偏振器件，调制时光源经过pbs(偏振分光棱镜)时只有一个偏振方向的光得到有效利用，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。