技术编号:2727611
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅基液晶(LCOS, Liquid Crystal On Silicon)显示器的制作 方法,特别涉及在制作硅基液晶显示器的反射镜面过程中,改善硅基液晶显 示器的反射镜面缺陷。背景技术石圭基液晶(LCOS )是一种新型的反射式液晶显示装置,与普通液晶不同的 是,LCOS结合CMOS工艺在硅片上直接实现驱动电路,并采用CMOS技术将 有源像素矩阵制作在硅衬底上,因而具有尺寸小和分辨率高的特性。理想的LCOS应该平坦、光滑并有很高的反射率,这样才能够...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。