精密加工设备的提高重复精度的工件台结构及方法技术资料下载

技术编号:2727627

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本发明涉及高精度加工设备领域,具体地说,涉及一种提高运动平台重复精度的工件台结构及方法。背景技术 传统的高精密加工设备往往着眼于较高精度运动控制即可满足加工要求,对于设备的重复精度要求并不非常严格。所述重复精度并非指加工设备运动时的重复精度,而是指设备从未知状态进入工作状态的重复性。例如切断设备电源后重新上电恢复使用,要保证其坐标的建立与前一次工作状态非常接近,即保证相同(尽量接近)的坐标原点和坐标方向。然而随着科学技术的发展,传统方法已经不能满足某些领域...
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