技术编号：2727697
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种检测机器排气系统的方法和一种判断产品CPK (制程能力 指数)的方法，尤其涉及一种在光刻领域检测机器排气系统和判断产品CPK的 方法。背景技术在光刻领域内，机器的排气系统能够影响产品的特征尺寸。传统的检测机 器排气系统的方法是，当发现产品的合格率较低时，就会判断可能是该机器的 排气系统出现问题，由于不能及时获得机器排气系统的相关参数，为了'-险证排 气设施是否出现了问题，设备工程师通常必须把机器停下来进行检查才能确定 到底是哪一部份的排气系统...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。