技术编号：2727937
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。特别是提供一种在半导体基体回路组件及薄膜电晶体(以下简称TFT)的液晶显示组件制造中，用于形成图案的正型感光性树脂组成物及该树脂组成物形成耐干蚀刻性佳的图案的方法。背景技术在基板上形成如液晶显示组件回路或半导体基体回路等微细回路图案的绝缘膜或者导电性金属膜上，均勻地涂布光阻组成物，并于指定形状的光罩下进行曝光显影，可制得所需形状的图案。接着，将形成图案的光阻膜作为光罩除去金属膜或绝缘膜后，再除去残留的光阻膜，即可在基板上形成微细回路。根据光...
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