一种嵌入式耦合光学环形腔器件的制作方法技术资料下载

技术编号:2728110

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本发明涉及平面光波导集成器件领域,特别是涉及一种嵌入式耦合光学环 形腔器件。技术背景光学环形腔器件是一种在光子信号处理领域有着非常重要地位和意义的光 子器件。光学环形腔器件通常包括一个环形腔(如微谐振环或微盘)、以及一 条或两条耦合光波导。为了使之具有较大的自由频谱范围,须减小整个环形腔 周长。因此,应该采用强限制光波导形成具有小弯曲半径的环形腔,例如,基于SOI (Silicon-on-insulator,绝缘体上的硅)纳米光波导环形腔(Little e...
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