技术编号：2728490
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及构图基板的方法和装置，更特别地，涉及用于从图案化基板分离压模的方法和装置。背景技术 纳米压印技术在过去十年中迅速发展，且提供了纳米尺寸结构的复制的希望之路。技术改善已经惠及若干正在成长的工业，包括集成电路(IC)、微机电系统(MEMS)、以及磁存储介质。然而，复制微小结构遇到了提升压印工艺必须克服的若干问题。例如，诸如摩擦力和粘合力的力必须被克服以实现最佳结果。另外，需要不昂贵的机械装置和简单的方法来推进压印工艺且使该工艺更节约成本。已经提出了压...
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