技术编号：2728940
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。,阵列，成像设备和设计的方法本发明涉及一种微机电调制装置(具体的是，可由低电压驱动并双向旋转的旋转系统的微机电调制装置的结构，以及为在低电压下驱动该调制装置的动力学分析和条件设置，包括粘滞影响)，一种微机电调制装置阵列，一种成像设备和一种设计微机电调制装置的方法。背景技术 近年来，由于MEMS技术(MEMS微机电系统)的快速发展，用于电动移位和电动移动μm尺度的微机械装置的微机电调制装置也得到了蓬勃发展。例如，在微机电调制装置中，众所周知的是TexasIn...
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