技术编号：2729616
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及将光束的间距转换为所希望的间距的光束的轴间间距转换装置以及将从矩阵状配置的多个光源输出的光作为光源并具备上述光束的轴间间距转换装置的无掩模基板曝光装置。背景技术 为了在印刷基板、液晶显示器的TFT基板或滤色器基板或等离子显示器的基板上曝光图形，在现有技术中，制作作为图形的底版的掩模，并用掩模曝光装置将该掩模底版曝光在上述基板上。但是，近年来基板的尺寸越来越大，并且要求这些基板的设计、制作的时间越来越短。因此，不使用掩模的所谓无掩模曝光方法已被实用...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。