技术编号：2729820
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻用防护薄膜组件的收纳容器及其制造方法，该防护薄膜组件在制造半导体装置、印刷基板或是液晶显示器等物品时作为防尘器使用。背景技术 在LSI等半导体装置或是液晶显示器等物品的制造中，用光照射半导体晶片或者是液晶用玻璃基板以制作出图案，若此时所使用的光掩模或是初缩光掩模(以下仅称光掩模)上有灰尘附着的话，该灰尘会遮住光，或折射光线，使转印的图案发生损坏。因此，该等作业通常在无尘室内进行，即使如此欲经常保持光掩模清洁仍相当困难。于是，遂采取在光掩模...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。