支承销的制作方法技术资料下载

技术编号:2729832

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本发明涉及一种对玻璃基板或半导体晶片等基板进行支承以及移送的支承销。背景技术 在液晶显示装置(LCD)的制造工序中,以往在玻璃基板上形成抗蚀剂膜或滤色膜时,需在玻璃基板的上面涂敷膜材料(涂敷液),然后在加热处理装置中加热该涂敷液而形成被膜。另外,在将玻璃基板移送至加热处理装置的加热板上时,如图5所示,在加热板100上形成上下方向的通孔101,并在该通孔101中出没自如地设置有支承销102,并使支承销102比加热板100上面更向上方突出,在该状态下移送该玻璃...
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