技术编号：2730188
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及，该方法通过从诸如TFT-IXD等显示装置制造过程等中所产生的废弃有机溶剂中去除各种杂质，从而使有机溶剂能够在显示器制造过程中再利用，是使有机溶剂再生(recycle)的过程。该方法能够防止工序故障，在降低设备运营成本的同时，还能够以高回收率回收有机溶剂。背景技术在诸如TFT-IXD等显示装置制造过程中，为了在电子电路、像素等基板上形成微细图案，一般使用平板印刷法(lithography)。平板印刷法为在基板上涂布作为感光性物质的光刻胶后，进行软...
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