技术编号：2731254
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种光掩模、及使用此光掩模的曝光制程与像素结构的制造方法，且特别是有关于一种半调式光掩模(halftone mask)、及使用此半调 式光掩模的曝光制程与像素结构的制造方法。背景技术液晶显示器(Liquid Crystal Display, LCD)是由彩色滤光基板(Color Filter Substrate)、薄膜晶体管阵列基板(TFT array substrate)以及位于两基板之间 的液晶层所组成。近年来，由于液晶电视的需求增加，使...
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