技术编号：2731542
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微结构和微器件的制造。 背景技术微器件通常包括在操作期间可以互相接触的部件。例如，安装在该反射镜板可以倾斜到"开"位置，此时微型反射镜板把入射光引导到 显示装置，并且可以倾斜到"关"位置，此时微型反射镜板引导入射光 离开显示装置。反射镜板可以由机械停止机构停止在"开，，或"关"位 置，以使反射镜板的方向可被精确地限定在这两个位置。为了使微型 反射镜正确地工作，反射镜板必须能够在"开"和"关，，位置之间快速改 变而没有任何延迟。例如，当合适的静电力...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。