技术编号：2731891
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。减压干燥装置技术区域本发明涉及在减压状态下对涂敷于被处理基板上的涂敷液进行干 燥的减压干燥装置。背景技术例如在液晶显示器(LCD)等平面面板显示器(FPD)制造的光刻 工序中，这种减压干燥装置被用于在预烘焙之前对涂敷在被处理基板 (玻璃基板等)上的抗蚀液进行干燥。例如，如专利文献1所述，现有的减压干燥装置包括上面开口 的托架或浅底容器型的下部腔室；和构成为可在该下部腔室的上面气 密地密合或嵌合的盖状上部腔室。在下部腔室中配设有台(stage)，在 将基板水...
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