技术编号：2732328
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种图案转录装置，更具体地讲，涉及一种能够形成精 细图案而不会损坏图案的转录装置以及用于该图案转录装置的底板(cliche)的制造方法。技术背景诸如液晶显示(LCD)装置的平板显示装置在每个像素中包括作为 开关元件的薄膜晶体管(TFT)。 TFT的制造过程需要包括形成光刻胶图 案(PR)的工序的许多掩模工序。PR图案对TFT的特性有较大影响。 TFT的特性是重要研发的主题。具体地说，尝试使用精细金属图案来改 进TFT的特性。通常，PR图案的制造过...
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