电控焦移的超分辨光瞳滤波器的制作方法技术资料下载

技术编号:2733055

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本发明涉及一种焦移量可电控的超分辨光瞳滤波器,实现焦移量与超分辨特性 的实时控制,主要用于光学超分辨、自动聚焦、激光精密加工、光信息存储等技术 领域。背景技术轴向焦移与光学超分辨两种效应都已被各自独立地进行了广泛深入的研究。近 年来,利用偏振干涉的方法设计光瞳滤波器,以获得焦点附近光强重新分布的技术 受到广泛关注。在轴向上,利用偏振干涉原理,设计光瞳滤波器来获得焦点位置的技术相继展开;同时,也出现了与以往设计超分辨光瞳滤波器的相位板法不同的技 术手段,即借...
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