技术编号：2733097
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电器件领域，具体涉及一种。 背景技术微结构器件自问世以来引起世界各国的广泛重视，由于其具有体积小、精度 高、质量轻、能耗低、灵敏性和工作效率高等优点，在国防、工业、航空航天、 生物、医学等领域具有广泛的应用前景，相关的研究突飞猛进。实现微结构器件的驱动是获得完整微机电系统(MEMS)的重要一环，其原 理是将其它形式的能量(电、热、光等)转换为机械能，可实现输出诸如力、力 矩、位移或状态的变化，用于MEMS的微开关、微致动器等。目前采用硅制造工...
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