技术编号：2733314
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例涉及一种用于形成微透镜的图案掩模、图像传感器及其 制造方法。背景技术图像传感器是将光学图像转换成电信号的半导体器件。现有技术中典型的图像传感器包括电荷耦合器件以及CMOS图像传感器。 图像传感器可以利用下列工艺制造。首先在半导体衬底上形成晶体管和电连接到该晶体管的光电二极管，以 及在所述晶体管及光电二极管上形成绝缘层结构和布线层。然后在所述绝缘 层结构上形成红色、绿色和蓝色的滤色镜，并在该滤色镜的上表面涂覆正性 光致抗蚀剂膜以形成平坦化层。其...
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