技术编号：2733941
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于通过在光路上插入抽出反射镜而进行光路转换或者进行 与各入射口耦合的光量调整等的光学器件的梳齿型静电驱动器。背景技术在图8中，作为梳齿型静电驱动器使用的这种光学器件的现有结构例， 表示出日本专利申请公报号2005-37885所公开的MEMS (Micro Electro Mechanical Systems )光开关的结构。例如在由硅晶片形成的基体20上面20u，十字状地形成有各一端互相连 接的四条光纤槽1A、 1B、 1C、 1D。四条光纤4...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。