技术编号：2734115
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及的是一种微型开关，特别是一种微型回转式1×N光开关，属于微型光开关领域。近年来由微机械、微电子、微光学相互结合产生的“集成微光机电系统”(MOEMS)为新型光纤通讯器件的实现提供了崭新手段。用微机电系统(MEMS)技术制作的微机械光开关不仅具有机械式光开关的全部优点，而且体积很小(毫米数量级或更小)，制作工艺与大规模集成电路的制作工艺相兼容，易于大批量生产以及光集成或光电集成，成本低，重复性好。特别是它的开关时间可大为缩短，达到微秒级。经文献检索...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。