技术编号：2734940
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光学显微镜，特别涉及一种可提供多色宏观检查光源的晶 圆检查光学显微镜。背景技水在半导体器件制作完成后，需通过晶圆检查光学显微镜对其进行外观检查， 以检出具有明显会影响器件质量的外观缺陷，所述外观缺陷包括破损、裂紋、 划痕、附着物或污染等，对所述外观缺陷的检查包括宏观检查和微观检查。现晶圆检查光学显微镜中用于提供宏观检查的宏观光源模块只提供白光， 通常的晶圆只在白光下就能检查出其上的外观缺陷，但像生成有反射型液晶(Liquid Crystal ...
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