技术编号：2735222
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光学镀膜，特别是用于光学镀膜膜厚监控系统 的一种多位比较片换位控制装置。 背景技术在公知的技术中，针对非规整膜系的需要，镀膜膜厚监控系统一般是通 过一个或几个比较片的切换，分别用不同的监控波长信号对膜系各层的光学 厚度进行监控。随着膜系的复杂化设计，要在一个或几个比较片上完成整个 膜系的控制，是无法实现的，必须在十几个或几十个比较片上进行切换才能 完成，因此要求监控系统的比较片上能够容纳和切换更多的监控点。现代的 镀膜机上都装备了比较片切换装...
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