钟摆式数字曝光法的制作方法技术资料下载

技术编号:2735715

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本发明所属为微电子技术和半导体精密加工领域,利用钟摆式暴光法生产的数字胶卷可以替代一切传统相机所使用的银盐胶卷。本发明的有益效果为不需要大幅提高加工精度和半导体精度,解决了数字胶卷的高成本及分辨率低下的问题。具体实施例方式为在CCD或CMOS感光板上用1 8微米或更细激光束精加工技术切割出500万象素的感光单元,将感光单元用钟摆式感光法在二分之一间具内重复暴光形成四个逻辑单元,即可将同级感光板提高四倍分辨率。权利要求1利用高频技术使CCD或CMOS感光板在...
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